手套箱常见故障及解决办法
1、水氧含量大于200ppm
原因：新箱调试或误操作。
办法：停止循环，开启清洗，清洗至100ppm以下，开启循环。
2、屏幕显示 主阀压力不足0.4MPa或主阀信号故障
原因：气源压力不足。
办法：换气瓶，增大压力至0.4-0.5MPar。
3、屏幕显示“Pump Switch Off”
原因：真空泵阻力过大，造成跳闸。
办法：维修真空泵后，打开电柜，合上跳闸开关。
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手套箱的日常维护保养
1.注意：通电后，若有无法启动的问题，一种可能性是因为真空泵电源线连接松动，另一种原因是真空泵自身的开关未开启。
2.要样品放入手套箱时，尽量使用小过渡舱，打开过渡舱门前需先注意阀门腔上的压力表指针是否在零的位置。若是，则可直接打开；若否，半导体手套箱，则需先将阀门腔下的开关转至“填充”的位置，使气体进入手套箱过渡舱内，再将开关转回中间位置，此时可以打开过渡舱门将样品放入，再将舱门关上。放置样品时，需小心不要用手触摸过渡舱内壁，请佩戴手套取放样品。
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手套箱操作步骤
抽真空与充气的放法：
1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空，过渡室则可以单独抽真空。
2、先打开过渡室里面的门，然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。
3、打开手套口之间的三通阀（逆时针旋转），将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体，使得抽气时手套内外（箱体和接口）同时抽真空，保持两边气压平衡。
4、将真空泵接到过渡室一个阀门上，开启真空泵，缓缓打开此阀门，对系统抽气（如打开阀门的速度太快，可能引起手套膨胀）。
5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时，抽真空完成，此时应先关阀门再关真空泵。
6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体，直至气压比大气压（气压表指数为0MPa）略高一点，使箱体内、外的压力基本平衡，且内部略高于外部，可保证大气不会渗入箱体内部（如果您想使箱体内的气体更纯净，将以上抽气和充气过程重复几次）。关掉连接手套接口的三通阀，打开手套接口上的压盖，就可以进行操作了。
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